為保證超凈清洗間的整潔有序，確保工作人員和工作環(huán)境的安全，根據(jù)超凈車間清洗間實際情況，特制定以下清洗臺安全管理規(guī)范：
1 、清洗間負責人員負責監(jiān)管清洗間的工作情況，有權(quán)糾正和制止違反清洗間管理的人員的行為。
2、有機與無機化藥必須在相應(yīng)的清洗間分開使用，有機與無機洗間分別獨立使用，不得串用。所有使用化學(xué)藥品進行的濕法刻蝕、腐蝕工藝必須在清洗間操作。原則上有機清洗需在有機清洗臺進行，無機清洗、酸堿腐蝕在無機清洗臺進行。嚴禁在同一通風(fēng)柜中進行有機和無機清洗。
3、清洗操作時，注意個人防護意識，根據(jù)操作規(guī)程，無機清洗時，必須佩帶完整的防護，包括：防酸堿手套、圍裙、眼鏡、面罩、護袖等。有機清洗時，若使用有毒或劇毒化藥，如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等，必須佩帶完整的防護。任何清洗工藝，必須佩帶完好的乳膠手套。所用個人防護用品使用完畢后，必須用水沖洗干凈，避免化藥殘留在防護用品上，影響他人使用，使用完畢后整齊放回原位。
4、使用化學(xué)藥品必須預(yù)先了解所用化藥的使用注意事項和相應(yīng)的應(yīng)急措施。進行清洗操作前必須看化學(xué)藥品標識，正確使用化學(xué)藥品。
5、清洗操作時，要節(jié)約使用化藥和無塵紙等耗材。新液化藥只能用于清洗樣品，嚴禁新液用于其他用途。要選用適合的器皿，不得用大的器皿清洗小的樣品?；幱昧繀⒖迹阂好嫔w過樣品不要超過1CM。使用新液化藥順序：先使用已開啟試劑，已開啟試劑使用完畢后再開啟新的試劑，并在使用完畢后的空瓶表面寫上“廢”字。
6、清洗操作時，加熱、冷卻、剝離等需要離開時，在無人看管情況下，放置在公共位置的任何溶液必須放置標識牌（使用人、化藥名稱、日期、時間），放置的位置不得影響其他人工作，清洗完畢后，請及時用酒精或丙酮擦除標識牌，沒有標識的行為和標識牌沒有及時清除將視為違規(guī)行為。
7、取新液時，要把新液桶外面的包裝塑料袋和橡皮筋放入垃圾桶，嚴禁放回新液柜。嚴禁把空新廢液桶放回新液柜中。無機廢液桶要放置在裝有廢液回收桶的藍盒子里，有機廢液桶要放置在空廢液瓶整理箱或廢液柜中。用戶如有自己的化藥新液，請做好標識，放置在用戶相應(yīng)的新液柜中，遵循：有機與無機分開，酸、堿分開放置原則。有機廢液柜未放滿時，嚴禁把廢液瓶放置在地面（只有廢液柜放滿時，才可以把廢液整齊放置在地面）。
8、在使用8槽清洗機進行清洗樣品時，必須使用指定的公共清洗器皿。嚴禁在未經(jīng)允許的情況下使用別人的清洗器皿，個人和公共清洗器皿使用完畢必須清洗干凈，用氣槍吹干后，放回指定位置。
9、清洗廢液、腐蝕廢液、光刻所用廢液必須按照要求和指示倒入相應(yīng)的廢液回收桶，擰緊廢液桶蓋時，要向反方向回旋半圈，桶蓋要松。處理無機廢液時，要注意選擇好相應(yīng)的廢液桶，倒廢液之前加入5倍以上的去離子水稀釋（濃硫酸除外），其中廢液稀釋的水包括原溶液中的水。稀釋時注意：把廢液加入水中稀釋（務(wù)必注意順序）。無機廢液傾倒時，要雙手進行同一操作。不要一只手拿廢液或空燒杯，一只手擰松或擰緊廢液桶蓋。
10、廢濃硫酸桶中存放廢液有：（1）、廢濃硫酸占總體積大于50％以上的廢液。（2）、廢純濃硫酸。兩者廢液都不需要稀釋，直接倒入廢濃硫酸桶。如果廢液中濃硫酸總體積比小于50％，則需要加5倍以上去離子水稀釋（廢濃硫酸加入水）倒入廢酸桶。
11、清洗操作時，從一個清洗臺到另一個清洗臺時間間隔一分鐘以上，要關(guān)閉相應(yīng)清洗臺通風(fēng)門。如果清洗完畢離開清洗間，清理臺面并檢查通風(fēng)門、燈、超聲機、水浴機的開關(guān)電源是否關(guān)閉。超聲機使用完畢后及時關(guān)上超聲機蓋子。
12、有機廢液回收時，只有丙酮、異丙醇、無水乙醇可以混合回收，其他如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等有毒化藥要單獨回收并做好標識。有機廢液處理時，要在廢液桶上寫好標識，如果別人已寫好你需要做的標識，而且廢液桶未裝滿，可以不寫標識，直接倒入廢液桶。
13、清洗完畢后，要整理并清洗臺面，并更換一次性乳膠手套。清洗前后要在記錄本上分別登記完整的開始和結(jié)束時間、目的、化藥名稱等記錄。
14、廢棄手套、無塵布、無塵紙等請放入垃圾桶，所用化學(xué)藥品放回原處，用水沖清洗臺面并用無塵紙擦凈，再用壓縮氮氣吹干清洗臺，保持清洗臺整潔干爽。禁止在清洗臺上遺留任何廢棄物，并及時關(guān)閉清洗臺的通風(fēng)門。清洗間使用人員有義務(wù)及時清理所用清洗臺遺留的廢棄物。
15、在傾倒廢液時，要注意觀察是否有廢液遺撒地面，或在清洗結(jié)束后，檢查是否有水或其他液體灑落在清洗臺附近的地面，若有一定要及時用無塵紙或其他方式處理干凈。
16、清洗操作時，使用氫氟酸（HF）、氟化銨（NH4F）或（BOE）含有氟離子的化藥時，必須用塑料的燒杯、量筒等器皿，禁止用玻璃及石英器皿。
17、配制無機溶液時，遵循：一、有水在配制溶液中的，先倒水，后倒入密度小的化藥，再到入密度大的化藥；二、沒有水在配制溶液中的，先倒密度小的化藥，再倒入密度大的化藥。密度的大小可以根據(jù)分子量的大小區(qū)分，一般情況下分子量大的化藥密度大，分子量小的化藥密度小。
18、溶液加熱時，要等到溫度升到設(shè)定溫度時，再放上器皿去加熱，加熱完畢后，關(guān)閉電源，等溶液冷卻到室溫才可以取出。（一般：有機與無機，酸、堿不能同時加熱操作）。
19、在清洗時，不慎把大量化藥灑在地面或發(fā)現(xiàn)有大量化藥在地面，應(yīng)立即處理。BOE灼傷眼睛或皮膚，一份鐘內(nèi)用六氟靈沖洗，再用水沖洗，而后立即就醫(yī)。
20、未經(jīng)許可的情況下，不得擅自攜帶化學(xué)藥品進出超凈間。
21、未通過培訓(xùn)和考核的人員不得擅自使用清洗設(shè)備。
22、如果在清洗過程中，有任何疑問，應(yīng)及早主動與相關(guān)工藝負責人人溝通。
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